客戶服務(wù)熱線： 磁控濺射靶材的制作方法主要包括熔融鑄造法和粉末冶金法兩大類。
1. 熔融鑄造法：熔融鑄造法適用于制備金屬及合金靶材。該方法通過將金屬及合金材料加熱至熔點(diǎn)，使其熔化成液態(tài)，然后將液態(tài)金屬及合金倒入模具中，冷卻凝固后得到靶材。熔融鑄造法具有生產(chǎn)成本低的優(yōu)點(diǎn)，但適用范圍有限，對于難熔金屬和某些非金屬材料無法制備。
2. 粉末冶金法：粉末冶金法適用于制備無機(jī)非金屬靶材、復(fù)合靶材以及熔點(diǎn)和密度相差較大的金屬合金靶材。該方法通過將原材料粉末進(jìn)行混合、成型和燒結(jié)等工藝過程，制備出高純度、高致密度和良好結(jié)晶取向的靶材。粉末冶金法具有生產(chǎn)靈活性高、可制備多種類型靶材的優(yōu)點(diǎn)，但生產(chǎn)成本相對較高。
研邦新材料在靶材的制備過程中，嚴(yán)格控制材料的純度、致密度、晶粒度以及結(jié)晶取向，同時(shí)對熱處理工藝條件、后續(xù)成型加工過程也需要加以嚴(yán)格的控制，以保證靶材的質(zhì)量。
